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Q. 건식 세정에 대해 질문이 있습니다.

투터어럴루으

건식 세정에 대해서 궁금증이 생겨 질문드리게 됐습니다! 1. 건식 세정의 종류가 많은데 기업에서 어느걸 선호하는지 궁금합니다. 그리고 이유도 궁금합니다. 2. Gas Phase Etch를 이용한 건식세정과 플라즈마 방식 건식 세정이 뭐가 다른지 궁금합니다. 그리고 두 기술의 장담점도 궁금합니다! 3. etch는 플라즈마를 이용하는게 아닌가요 ? 근데 GPE는 플라즈마를 이용한 장비보다 웨이퍼의 부담이 적다고 되어있는 글을 보아서 말씀드립니다! 감사합니다 !


2025.02.27

 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 

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